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面向全球的半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體高端微納裝備制造商。公司形成了以原子層沉積(ALD)技術(shù)為核心,CVD等多種真空薄膜技術(shù)梯次發(fā)展的產(chǎn)品體系,專注于先進(jìn)微米級(jí)、納米級(jí)薄膜設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與應(yīng)用。
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