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半導體工藝設備、 石墨烯設備、 晶體設備、

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山東力冠微電子裝備有限公司-半導體裝備制造-石墨烯設備主要從事半導體專用設備的研發、生產、銷售與專業化的技術服務。

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山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 半 導 體 裝 備 制 造 石 墨 烯 設 備 l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 中 文 ? | ? E n g l i s h 網 站 首 頁 關 于 我 們 公 司 簡 介 企 業 文 化 專 利 證 書 產 品 展 示 第 一 代 半 導 體 工 藝 設 備 第 二 代 半 導 體 工 藝 設 備 第 三 代 半 導 體 工 藝 設 備 第 四 代 半 導 體 工 藝 設 備 石 墨 烯 設 備 晶 體 設 備 新 聞 資 訊 公 司 新 聞 行 業 資 訊 合 作 伙 伴 工 程 團 隊 招 賢 納 士 管 理 理 念 加 入 力 冠 聯 系 我 們 E n g l i s h Q u o t e N o w 產 品 展 示 主 要 從 事 半 導 體 專 用 設 備 的 研 發 、 生 產 、 銷 售 與 專 業 化 的 技 術 服 務 。 了 解 詳 情 氮 化 鎵 （ G a N ） H V P E 單 晶 生 長 設 備 臥 式 ? 用 于 氮 化 鎵 ( G a N ) 單 晶 生 長 ? 用 于 氧 化 鎵 ( G a ? O ? ) 、 氮 化 鋁 ( A I N ) 、 磷 化 銦 ( I n P ) 、 砷 化 鎵 ( G a A s ) 外 延 生 長 氮 化 鎵 （ G a N ） H V P E 單 晶 生 長 設 備 立 式 ? 用 于 氮 化 鎵 ( G a N ) 單 晶 生 長 ? 用 于 氧 化 鎵 ( G a ? O ? ) 、 氮 化 鋁 ( A I N ) 、 磷 化 銦 ( I n P ) 、 砷 化 鎵 ( G a A s ) 外 延 生 長 P V T 單 晶 生 長 設 備 ? 本 設 備 主 要 用 于 碳 化 硅 ( S i C ) 、 氮 化 鋁 ( A I N ) 單 晶 生 長 S i C 籽 晶 粘 接 設 備 ? 籽 晶 的 粘 接 工 藝 技 術 是 將 S i C 籽 晶 通 過 有 機 膠 粘 接 在 石 墨 紙 上 ， 提 高 籽 晶 粘 接 質 量 是 保 證 高 品 質 S i C 晶 體 生 長 的 首 要 前 提 。 M P C V D 設 備 ? 微 波 等 離 子 化 學 氣 相 沉 積 技 術 ( M P C V D ) , 通 過 等 離 子 增 加 前 驅 體 的 反 應 速 率 , 降 低 反 應 溫 度 。 適 合 制 備 面 積 大 、 均 勻 性 好 、 純 度 高 、 結 晶 形 態 好 的 高 質 量 的 金 剛 石 單 晶 和 多 晶 薄 膜 S i C 高 溫 氧 化 設 備 ? 專 門 用 于 硅 碳 化 合 物 ( S i C ) 的 氧 化 處 理 ， 可 實 現 S i C 片 在 高 溫 真 空 環 境 下 完 成 高 溫 氧 化 工 藝 。 氧 化 工 藝 使 用 濕 法 氧 化 氣 體 或 N 2 O 、 N O 、 N O 2 , 是 最 安 全 的 毒 性 氣 體 氧 化 爐 ? 設 備 適 用 于 S i C 基 功 率 器 件 制 造 中 的 高 溫 氧 化 工 藝 環 節 ? 加 熱 腔 與 工 藝 腔 獨 立 密 閉 設 計 ， 提 供 工 藝 腔 的 潔 凈 度 S i C 高 溫 退 火 設 備 ? 專 門 用 于 硅 碳 化 合 物 ( S i C ) 的 離 子 激 活 和 退 火 處 理 ， 可 實 現 S i C 片 在 高 溫 真 空 環 境 下 完 成 活 性 工 藝 ? 設 備 適 用 于 S i C 基 功 率 器 件 制 造 中 的 離 子 激 活 和 退 火 工 藝 環 節 ? 加 熱 腔 與 工 藝 腔 獨 立 密 閉 設 計 ， 提 供 工 藝 腔 的 潔 凈 度 坩 堝 下 降 設 備 ◆ 主 要 用 于 4 8 英 寸 砷 化 鎵 、 磷 化 銦 等 化 合 物 單 晶 生 長 ◆ 設 備 由 機 架 、 安 部 支 撐 機 構 、 加 熱 器 和 控 制 系 統 組 成 ◆ 能 夠 實 現 安 移 動 和 轉 動 的 精 確 控 制 L P C V D 臥 式 ? L P C V D 設 備 是 半 導 體 集 成 電 路 制 造 的 重 要 設 備 之 一 ， 主 要 用 于 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 薄 膜 的 生 長 , 它 是 將 原 材 料 氣 體 ( 或 者 液 態 源 氣 化 ) 用 熱 能 激 活 發 生 化 學 反 應 而 在 基 片 表 面 生 成 固 體 薄 膜 ， L P C V D 過 程 是 在 低 壓 下 進 行 的 ， 由 于 氣 壓 低 ， 氣 體 分 子 平 均 自 由 程 大 ， 使 生 長 的 薄 膜 均 勻 性 好 ， 此 外 基 片 可 以 豎 放 使 得 設 備 裝 片 量 大 ， 特 別 適 用 于 工 業 化 生 產 L P C V D 立 式 ? L P C V D 設 備 是 半 導 體 集 成 電 路 制 造 的 重 要 設 備 之 一 ， 主 要 用 于 多 晶 硅 、 氮 化 硅 、 氧 化 硅 薄 膜 的 生 長 , 它 是 將 原 材 料 氣 體 ( 或 者 液 態 源 氣 化 ) 用 熱 能 激 活 發 生 化 學 反 應 而 在 基 片 表 面 生 成 固 體 薄 膜 ， L P C V D 過 程 是 在 低 壓 下 進 行 的 ， 由 于 氣 壓 低 ， 氣 體 分 子 平 均 自 由 程 大 ， 使 生 長 的 薄 膜 均 勻 性 好 ， 此 外 基 片 可 以 豎 放 使 得 設 備 裝 片 量 大 ， 特 別 適 用 于 工 業 化 生 產 P E C V D 臥 式 ? P E C V D 主 要 應 用 于 氧 化 硅 ( S i O ? ) 和 氮 化 硅 ( S i N 4 ) 材 料 的 薄 膜 生 長 ， 工 作 原 理 是 在 低 壓 引 入 高 頻 射 頻 電 源 ， 采 取 電 容 耦 合 方 式 使 工 藝 氣 體 電 離 放 電 ， 形 成 等 離 子 體 狀 態 ， 產 生 大 量 的 活 性 基 團 ， 這 些 活 性 基 團 在 襯 底 材 料 表 面 發 生 化 學 反 應 并 沉 積 到 襯 底 表 面 ， 生 長 出 氧 化 硅 ( S i O ? ) 或 氮 化 硅 ( S i N 4 ) 薄 膜 氧 化 / 擴 散 設 備 ? 該 設 備 是 半 導 體 生 產 線 前 工 序 的 重 要 工 藝 設 備 之 一 ， 用 于 大 規 模 集 成 電 路 、 分 立 器 件 、 電 力 電 子 、 光 電 器 件 等 行 業 的 擴 散 、 氧 化 、 退 火 、 合 金 和 燒 結 等 工 藝 ? 設 計 了 硅 片 生 產 的 多 種 工 藝 性 能 需 要 ， 具 有 生 長 效 率 高 、 產 品 性 能 優 越 的 特 點 ? 具 有 污 染 低 、 占 地 面 積 小 、 溫 度 均 勻 、 可 裝 載 晶 圓 尺 寸 大 、 工 藝 穩 定 性 高 等 優 點 ? 主 要 用 于 初 始 氧 化 層 、 屏 蔽 氧 化 層 、 襯 墊 氧 化 層 、 犧 牲 氧 化 層 、 場 氧 化 層 等 多 種 氧 化 介 質 層 的 制 備 工 藝 真 空 退 火 設 備 ◆ 主 要 用 于 半 導 體 器 件 退 火 及 燒 結 等 工 藝 ， 可 進 行 真 空 、 氣 體 保 護 等 ◆ 設 備 結 構 新 穎 , 操 作 方 便 ◆ 在 一 臺 設 備 上 可 以 完 成 多 個 工 藝 流 程 L P E 外 延 爐 ◆ 氣 相 外 延 是 一 種 單 晶 薄 層 生 長 方 法 ◆ 氣 相 外 延 廣 義 上 是 化 學 氣 相 沉 積 的 一 種 特 殊 方 式 ， 其 生 長 薄 層 的 晶 體 結 構 是 單 晶 襯 底 的 延 續 ， 而 且 與 襯 底 的 晶 向 保 持 對 應 的 關 系 ◆ 在 半 導 體 科 學 技 術 的 發 展 中 ， 氣 相 外 延 發 揮 了 重 要 作 用 ◆ 砷 化 蹤 ( G a A s ) 氣 相 外 延 技 術 生 長 的 砷 化 鯨 ( G a A s ) 純 度 高 、 電 學 特 性 好 ， 廣 泛 的 應 用 于 霍 爾 器 件 、 耿 氏 二 極 管 、 場 效 應 晶 體 管 等 微 波 器 件 中 晶 體 提 拉 設 備 ◆ 直 拉 法 晶 體 生 長 專 用 設 備 ， 可 實 現 在 高 壓 、 真 空 和 保 護 氣 氛 下 直 拉 生 長 晶 體 ◆ 采 用 自 動 稱 重 結 構 ， 在 保 證 晶 體 品 質 的 前 提 下 實 現 了 直 拉 晶 體 的 自 動 生 長 過 程 石 墨 烯 薄 膜 C V D 設 備 ◆ 本 系 統 是 一 套 完 備 的 石 墨 烯 制 備 系 統 , 包 括 硬 件 和 軟 件 部 分 ◆ 工 作 在 常 壓 氣 氛 或 真 空 條 件 ， 通 過 控 制 生 長 工 藝 ， 既 可 以 生 長 出 六 邊 形 的 石 墨 烯 單 晶 ， 也 可 以 生 長 出 花 瓣 狀 的 石 墨 烯 的 單 晶 石 墨 烯 卷 對 卷 ? 石 墨 烯 薄 膜 產 業 化 設 備 ? 寬 幅 卷 對 卷 連 續 生 長 ? A P C 系 統 : 真 空 蝶 閥 自 動 控 制 ? 碳 源 等 工 藝 氣 體 M F C 控 制 ? 薄 膜 制 備 過 程 全 自 動 控 制 ? 三 腔 室 結 構 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 聚 力 成 事 · 名 冠 天 下 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 同 年 6 月 正 式 成 為 中 國 電 子 專 用 設 備 工 業 協 會 會 員 ； 2 0 1 8 年 1 1 月 ， 被 山 東 省 科 技 廳 認 定 為 “ 高 新 技 術 企 業 ” ； 2 0 1 9 年 3 月 被 第 三 代 半 導 體 產 業 技 術 創 新 戰 略 聯 盟 評 為 副 理 事 長 單 位 ， 同 年 9 月 榮 獲 中 國 創 新 創 業 大 賽 · 國 際 第 三 代 半 導 體 專 業 賽 優 勝 獎 ； 2 0 2 2 年 、 2 0 2 3 年 分 別 被 山 東 省 工 信 廳 認 定 為 “ 創 新 型 中 小 企 業 ” 與 “ 專 精 特 新 中 小 企 業 ” 。 作 為 一 家 國 家 高 新 技 術 企 業 ， 公 司 常 年 與 國 內 知 名 半 導 體 企 業 、 科 研 院 校 等 保 持 密 切 合 作 ， 產 品 被 廣 泛 應 用 于 集 成 電 路 、 功 率 半 導 體 、 化 合 物 半 導 體 、 5 G 芯 片 、 光 通 信 、 M E M S 等 新 型 電 子 器 件 制 造 領 域 。 經 過 十 年 的 發 展 ， 已 成 為 一 家 集 研 發 、 生 產 、 銷 售 為 一 體 的 半 導 體 工 藝 裝 備 制 造 商 。 企 業 視 頻 服 務 客 戶 了 解 詳 情 我 們 的 優 勢 主 要 從 事 半 導 體 專 用 設 備 的 研 發 、 生 產 、 銷 售 與 專 業 化 的 技 術 服 務 。 經 驗 豐 富 山 東 力 冠 成 立 于 2 0 1 3 年 ， 是 一 家 集 研 發 、 生 產 、 銷 售 為 一 體 的 專 業 裝 備 制 造 企 業 ， 是 中 國 電 子 專 用 設 備 工 業 協 會 會 員 、 第 三 代 半 導 體 產 業 技 術 創 新 戰 略 聯 盟 副 理 事 長 單 位 。 品 質 保 障 截 至 目 前 已 通 過 授 權 專 利 3 0 個 ， 其 中 ， 發 明 專 利 4 個 ， 實 用 新 型 1 8 個 ， 軟 件 著 作 權 8 個 。 實 力 雄 厚 目 前 公 司 擁 有 大 型 加 工 中 心 、 激 光 切 割 機 、 自 動 焊 機 、 V C R 焊 機 、 大 型 車 床 、 銑 床 、 鉆 床 、 剪 板 機 、 爐 絲 卷 繞 機 、 打 標 機 等 設 備 私 人 定 制 能 夠 盡 可 能 滿 足 不 同 客 戶 的 高 精 尖 定 制 需 求 ， 確 保 絕 大 多 數 機 械 零 部 件 可 研 發 、 可 自 制 、 可 改 造 。 新 聞 資 訊 為 客 戶 提 供 優 質 的 產 品 和 完 善 的 服 務 ， 向 著 國 際 化 ， 現 代 化 企 業 昂 首 闊 步 前 進 。 了 解 詳 情 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 政 府 特 聘 顧 問 政 府 特 聘 顧 問 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 公 司 新 工 廠 開 工 儀 式 公 司 新 工 廠 開 工 儀 式 2 0 2 3 / 1 1 / 2 9 公 司 資 本 簽 約 儀 式 公 司 資 本 簽 約 儀 式 2 0 2 3 0 7 1 8 2 0 2 3 年 中 國 半 導 體 設 備 發 展 趨 勢 預 測 分 析 隨 著 半 導 體 技 術 的 不 斷 進 步 ， 半 導 體 器 件 集 成 度 不 斷 提 高 。 一 方 面 ， 芯 片 工 藝 節 點 不 斷 縮 小 ， 且 還 在 向 更 先 進 的 方 向 發 展 ; 另 一 方 面 晶 圓 的 尺 寸 卻 不 斷 擴 大 。 此 外 ， 半 導 體 器 件 的 結 構 也 趨 于 復 雜 ， 通 過 增 加 立 體 層 數 ， 解 決 平 面 上 難 以 微 縮 的 工 藝 問 題 。 這 些 對 半 導 體 專 用 設 備 的 精 密 度 與 穩 定 性 的 要 求 越 來 越 高 ， 未 來 半 導 體 設 備 將 向 高 精 密 化 與 高 集 成 化 方 向 發 展 。 2 0 2 3 0 7 1 8 日 本 半 導 體 出 口 禁 令 波 及 中 國 國 產 設 備 迎 機 遇 5 月 2 3 日 ， 日 本 政 府 出 臺 半 導 體 制 造 設 備 出 口 管 制 措 施 ， 將 芯 片 制 造 設 備 等 2 3 個 品 類 列 入 出 口 管 理 的 管 制 對 象 ， 新 規 將 于 7 月 2 3 日 正 式 生 效 。 2 0 2 3 0 7 1 8 半 導 體 行 業 二 季 度 緩 慢 復 蘇 設 備 板 塊 一 枝 獨 秀 受 半 導 體 行 業 周 期 “ 磨 底 ” 、 消 費 電 子 市 場 需 求 恢 復 緩 慢 等 影 響 ， 今 年 A 股 半 導 體 行 業 上 市 公 司 半 年 度 業 績 預 告 顯 示 ， 歸 母 凈 利 潤 普 遍 同 比 下 滑 ， I C 設 計 、 封 測 等 環 節 成 為 “ 重 災 區 ” ， 。 環 比 來 看 ， 部 分 頭 部 企 業 第 二 季 度 業 績 已 經 企 穩 復 蘇 ， 盈 利 環 比 增 長 ， 人 工 智 能 、 汽 車 電 子 、 電 網 等 板 塊 貢 獻 業 績 ， 有 公 司 表 示 下 半 年 將 企 穩 增 長 。 在 線 留 言 提 交 產 品 展 示 第 一 代 半 導 體 工 藝 設 備 第 三 代 半 導 體 工 藝 設 備 石 墨 烯 薄 膜 設 備 晶 體 生 長 設 備 快 速 退 火 爐 聯 系 我 們 地 址 ： 濟 南 市 槐 蔭 區 濟 南 寬 禁 帶 半 導 體 產 業 園 電 話 ： 1 5 5 6 2 4 5 0 8 1 6 郵 箱 ： l i g u a n 1 2 1 8 @ 1 6 3 . c o m C o p y r i g h t ? 山 東 力 冠 微 電 子 裝 備 有 限 公 司 網 站 建 設 ： 中 企 動 力 濟 南 二 分 ? ? | ? ? 標 簽 ? | ? ? 營 業 執 照 ? | ? 城 市 分 站

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